直径 >6-8 英寸（153毫米） 掺杂剂 硼（B）、磷（P） 导电类型 P型 、N型 制备方法 直拉法（CZ） 晶向 100±1° 氧含量 ≤1.0×1018 atoms/cm³ 碳含量 ≤5.0×1016 atoms/cm³ 位错密度 ≤3000个/cm² 电阻率 1～3Ω•cm、3～6Ω•cm